Re: B327 - pytanie do M.Dz.
Masz problem? Zapytaj na forum elektroda.pl
From: =?ISO-8859-2?Q?Micha=B3?= Byrecki <listy_at_nospam_bondi.pl>
Subject: Re: B327 - pytanie do M.Dz.
Date: Fri, 21 Mar 2003 03:45:21 +0100
On Fri, 21 Mar 2003 00:16:33 +0100
"Marek Dzwonnik" <mdz_at_nospam_message.pl> wrote:
Reminiscencja jednego z dawnych w=B1tk=F3w. Fotolitografia zajmuje jednak
par=EA godzin a dowolny b=B3=B1d powoduje, =BFe zaczynasz od pocz=B1tku.=
A
je=BFeli doliczysz do tego wycieczk=EA do na=B6wietlarni to od zmiany w
projekcie do nowej p=B3ytki masz dwa dni z g=B3owy.
Chyba, =BFe, jak pisa=B3em, zale=BFy Ci na jako=B6ci i robisz kilkaset sztuk
p=B3ytek, wtedy maska jest niezast=B1piona :)
Oczywi=B6cie dobrej fotolitografii =BFelazkiem nie przebijesz. Ale te=BF
dobrej fotolitografii nie zrobi si=EA w domu na kolanie. Zbyt wiele
stopni swobody wymagaj=B1cych pilnowania warunk=F3w procesu.
Znaczy, =BFeby by=B3o wiadomo, z papierem kredowym nie pr=F3bowa=B3em nigdy,
wi=EAc sobie "gdybam". Tak mi si=EA wydaje, =BFe fotolitografia na kolanie
b=EAdzie lepsza od =BFelazka na kolanie (tego =BFelazka prosz=EA nie bra=E6
dos=B3ownie, =BFeby si=EA nie sparzy=E6). Oczywi=B6cie w efekcie ko=F1cowym=
, bo w
kosztach b=EAdzie dro=BFsza. Chocia=BFby Positiv. Do najta=F1szych nie nale=
=BFy.
Ale i tak klient p=B3aci. A pami=EAtaj, =BFe to co mo=BFe oceni=E6 laik to =
jest
tylko wygl=B1d, wi=EAc paranoidalnie mo=BFna stwierdzi=E6, =BFe o wygl=B1d =
nale=BFy
bardziej dba=E6 ni=BF o projekt.
Transfer nie polega na "prasowaniu =BFelazkiem" a na prasowaniu "na
=BFelazku". Pisa=B3em o tym wielokrotnie. Przy pewnej wprawie przerwy w
=B6cie=BFkach si=EA w zasadzie nie zdarzaj=B1. Poza tym w razie stwierdz=
enia
b=B3=EAdu zmywasz toner i naprasowujesz go jeszcze raz. Na ew. powt=F3rk=
=EA
tracisz 20gr i 20 minut.
Niby tak, ale... B=B1belki z podtrawiania dziurek w =B6cie=BFkach s=B1 bard=
zo
dobrze widoczne w postaci p=EAcherzyk=F3w powietrza przy trawieniu. Te
dobrze widoczne kuleczki powietrza przy trawieniu rzadko kiedy s=B1
widoczne przed trawieniem go=B3ym okiem. Czyli mo=BFe okaza=E6 si=EA, =BFe =
na
powt=F3rk=EA tracisz nie tylko 20 gr i 20 min, ale 20,gr, 20 min, laminat,
preparat trawi=B1cy. Albo czas na =B6l=EAczenie z lup=B1 i ogl=B1danie =B6c=
ie=BFek.
Kliszy z na=B6wietlarki? Oczywi=B6cie zgadzam si=EA. Pod warunkiem, =BFe
zachowasz t=B1 jako=B6=E6 w dalszej cz=EA=B6ci procesu (jednolita grubo=
=B6=E6
fotorezystu, docisk maski w kopioramie pr=F3=BFniowej, kolimacja
o=B6wietlenia...).
Tak z ciekawo=B6ci, to w ca=B3ej cz=EA=B6ci procesu przestrzegasz a=BF tak =
tych
zasad? Bo ja robi=EA p=B3ytki je=BFeli chodzi o technik=EA - "na kolanie".
Nigdy nie my=B6la=B3em o kopioramie pr=F3=BFniowej czy czym=B6 takim. Ma to=
by=E6
tanie i skuteczne. Grubo=B6=E6 positivu nie ma takiego znaczenia jak
piszesz. Nie uda=B3o mi si=EA spapra=E6 p=B3ytki przez z=B3=B1 grubo=B6=E6 =
warstwy
=B6wiat=B3oczu=B3ej. Docisk nie jest istotiny. Wa=BFne jest, =BFeby element
przytrzymuj=B1cy mask=EA na p=B3ytce nie by=B3 matowy albo zarysowany. Wtedy
nawet nie musi by=E6 extra r=F3wnolegle doci=B6ni=EAty. IMO jak u=BFywasz =
=BFelazka,
to tu musisz bardziej zadba=E6 o r=F3wnomierny docisk ni=BF w metodzie foto.
A co tam kolimacja..! Przez czarne i tak nie przejdzie (co jest
spe=B3nione w przypadku dobrej maski). Na=B6wietlisz troch=EA d=B3u=BFej i =
w czym
problem?
We=BC pod uwag=EA, =BFe to co pokaza=B3em to zdj=EAcia
mikroskopowe. Go=B3ym okiem lub pod lupk=B1 wida=E6 znacznie mniej.
Kiey=B6 bawi=B3em si=EA mikroskopem elektronowym skaningowym, ogl=B1da=B3em
struktur=EA scalaka, tak=BFe to o czym my tu piszemy... te technologie....
Hehehe.. :D
=20
Poprzew=EA=BFane =B6cie=BFki przyfajcz=B1 si=EA
przy byle wi=EAkszym pr=B1dzie.
Nier=F3wnomierno=B6=E6 szeroko=B6ci =B6cie=BFki uzyskanej z drukarki 600d=
pi i
=BFelazka nie przekracza orientacyjnie 2..3 mils.
Chyba troch=EA przesadzi=B3e=B6 - z tego co wida=E6 na fotografii to troch=
=EA
mniej. Ale, przy czterech milsach to do=B6=E6 du=BFo, nieprawda=BF?
Je=BFeli przew=EA=BFenie =B6cie=BFki _sygna=B3owej_ w granicach 50% ma s=
powodowa=E6
jej przyfajczenie to proponuj=EA jeszcze raz pomy=B6le=E6 nad projektem.
Czyli co, robi=E6 =B6ie=BFki 50% wi=EAksze? To jaki sens robienia cienkich
=B6cie=BFek, skoro uwzgl=EAdniaj=B1c zapas wychodz=B1 o po=B3ow=EA grubsze?=
Mo=BFe od
razu robi=E6 grubsze? ;-) Wiem, teraz si=EA czepiam.
Normalne w tej grupie ;-) Zauwazy=B3em, =BFe takie OT prowadz=B1 do
najciekawszych dyskusji. Poza tym tytu=B3owe pytanie by=B3o adresowane do
mnie wi=EAc mog=EA si=EA troch=EA pom=B1drzy=E6 ;)
Trafi=B3em na pl.mics.elektronika w trakcie w=B1tku.
--=20
Pozdrawiam,
Micha=B3 Byrecki
/* Play me online? Well, you know that I'll beat you
If I ever meet you I'll control-alt-delete you */
========
Path: news-archive.icm.edu.pl!agh.edu.pl!news.agh.edu.pl!news.cyf-kr.edu.pl!news.nask.pl!news.atman.pl!news.task.gda.pl!not-for-mai